纳米级光纤激光干涉尺

一、 产品简介

光纤激光干涉测量尺是一种高精密度、高灵敏度、高效快速的先进位置检测设备，可实现非接触无损伤远距离检测，分辨率达纳米级，是科学和工业发展中不可缺少的检测技术，在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用，对提升高科技产品加工质量起到了关键作用。同时当代激光干涉技术具有灵敏度高、量程大及可适应恶劣环境等优点，光波可以直接对米进行定义且容易溯源。基于激光干涉测量的光纤激光尺在非接触高精度测量领域具有其它测量方法无可比拟的优势，相比传统钢带尺或玻璃光栅，具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更高的稳定性，同时具有安装快捷，易于准直等特点，是特别为超高精度位置反馈而设计的，特别是在光刻机领域具有明显应用价值。

光纤激光干涉尺是先进零差激光干涉测量系统，特别为位置反馈应用而设计，安装快捷，易于准直，可轻松实现固有的高分辨率（最高到10nm）和最小SDE（电子细分误差），激光源和探测装置分离，有效隔离热源，提高测量稳定性。光纤激光干涉尺主要包括激光发射装置和干涉测量探头。激光发射装置通过将氦氖激光耦合进入保偏光纤中，并用3m长铠装光纤引导至光纤准直装置，最终与干涉测量探头配合使用，为干涉测量装置提供高质量光源。激光反射装置有单轴、双轴以及三轴三种配置可选，内部包括HeNe（氦氖）激光源、用于稳频的电子器件、光纤耦合装置、光纤传导装置和轴位置反馈电子器件等。干涉测量探头是光学测量系统的核心，包括干涉仪光学系统、多通道条纹检测系统和光束转向机构。光纤激光干涉尺提供了三种不同的干涉仪配置，包括角锥棱镜干涉仪、平面镜干涉仪和差分干涉仪。角锥棱镜干涉仪探头测量探头内的参考光路和位于测量轴上的角锥反射器目标光路之间的相对位移，用于单轴线性测量。平面镜干涉仪探头可以确定安装在探头内的参考光路和位于测量轴上的平面镜目标光路之间的相对位移，实现光学倍频，分辨率更高，尤其适用于XY平台测量。差分干涉仪探头测量两个平面镜目标之间的相对位移，其中一个是固定位置的参考镜（通常位于工具上），确保了过程关键组件之间的准确定位，并消除了共模误差。

二、 功能特点

l 高分辨率输出，分辨率达10nm（可拓展）。 l

l 高测量精度，测量精度优于0.5ppm，为高精度加工提供精确定位。

l 高稳频精度，可达0.05ppm（可选配0.02ppm）。

l 测量范围大，最大量程可达4m（可拓展）。

l 激光发射装置与测量探头分离，通过3m铠装光纤与电缆连接，可将激光尺主机远离被测量设备，便于安装，同时还可避免主机散热对测量通路的影响。

l 多种输出信号可选择，光纤激光尺可输出正交数字差分相信号和1Vpp正余弦信号，可以适用于不同的控制器。

l 体积小巧，需要安装在被测设备上的干涉探头尺寸只有 39x76x120mm，只有手掌大小，适合狭小空间安装。

l 多通道输出，最多可同时连接三路探头，实现多轴同时测量。

l 开放的 API 接口，用户可以使用 API 接口做二次开发，更好的使用光纤激光尺。

l 环境补偿功能，一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。

l 功能强大的测量数据分析软件，具有静态和动态测量机床、光刻机运动平台、XY平台等的线性、角度、直线度等测量分析功能；